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產(chǎn)品中心

當前所在的位置：首頁 · 產(chǎn)品中心 · 微納檢查 · 光學顯微鏡標準機系列

半導體檢查金相顯微鏡

1、寬視場鉸鏈式正像三目觀察筒。
2、大行程移動平臺設計：采用6寸平臺設計，行程158×158mm。
3、高精度物鏡轉(zhuǎn)換器：轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設計，轉(zhuǎn)動手感輕巧舒適，重復定位精度高，物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制。 
4、安全、穩(wěn)重的結(jié)構(gòu)設計，保證了系統(tǒng)的抗震能力與成像穩(wěn)定性。
5、前置低手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機構(gòu)。
6、內(nèi)置100-240V寬電壓變壓器。底座內(nèi)部設計有風循環(huán)散熱系統(tǒng)，長時間使用也不會使機架過熱。
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  • 產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹：


INTJ-51A系列顯微鏡的各項操作根據(jù)人機工程學設計，最大限度減輕操作者的使用疲勞。其模塊化的部件設計，可對系統(tǒng)功能進行自由組合。涵蓋明場、暗場、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多種觀察功能。


適用于晶圓或FPD檢測，也可用于小尺寸樣品的陣列檢測?？筛鶕?jù)實際應用，進行功能選擇。


技術(shù)參數(shù)：


光學系統(tǒng)無限遠色差校正光學系統(tǒng)
觀察方式明場/暗場/偏光/DIC
觀察筒寬視場鉸鏈式正像三目觀察筒,0-35°傾角可調(diào)，
瞳距調(diào)節(jié) ：50-76mm，分光比 100:0 或 0:100
目鏡無限遠明暗場半復消金相 DIC 物鏡
5X、10X、20X、50X 、100X
轉(zhuǎn)換器明暗場六孔電動轉(zhuǎn)換器，帶 DIC 插槽
機架組1、反射式機架，前置低手位粗微同軸調(diào)焦機構(gòu)。粗調(diào)行程35mm，微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng)
2、透反機架，前置低手位粗微同軸調(diào)焦機構(gòu)。粗調(diào)行程 35mm，微調(diào)精度 0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng)
載物臺右手位 14×12 英寸三層機械移動平臺，低手位 X、Y 方向同軸調(diào)節(jié) ；平臺面積 718mmX420mm，
移動范圍 ：356mmX305mm
帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動 ；玻璃載物臺板 ( 反射用）
電動平臺面積 495mmX641mm，移動范圍 ：306mmX306mm ；軟件控制 X、Y 移動，重復定位精度，（3+L/50）μm 帶平板平臺
照明系統(tǒng)明暗場反射照明器 , 帶可變電動孔徑光闌，視場光闌 , 中心均可調(diào) ；帶明暗場照明切換裝置 ；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽
攝影攝像附件0.5X/0.65X/1X 攝像接筒，C 型接口，可調(diào)焦
其他起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，反射用干涉濾色片組 ；高精度測微尺 ；DIC 組件