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四年磨一劍，風(fēng)雨未曾阻
2019年，江蘇才道精密儀器有限公司布局半導(dǎo)體高精度檢測(cè)領(lǐng)域，瞄準(zhǔn)原子力顯微鏡這一高精尖儀器的國(guó)內(nèi)空白市場(chǎng)，毅然決然投身于原子力顯微鏡國(guó)產(chǎn)化的荊棘之路。四年來(lái)，才道技術(shù)人員攻堅(jiān)克難，終于在2022年底，推出了工業(yè)型的原子力顯微鏡。
2023年7月底，才道精密首臺(tái)12吋原子力顯微鏡，順利交付使用。
發(fā)貨現(xiàn)場(chǎng)
安裝調(diào)試現(xiàn)場(chǎng)
對(duì)客戶進(jìn)行操作培訓(xùn)
培訓(xùn)完成，頒發(fā)證書(shū)
該設(shè)備有精致的顏值，更有多項(xiàng)自動(dòng)化性能、同時(shí)，更具實(shí)用性和可拓展性，可實(shí)現(xiàn)多種測(cè)量?jī)x器聯(lián)合使用，最終實(shí)現(xiàn)跨尺度的原位檢測(cè)。
工業(yè)型大樣品原子力顯微鏡的主要應(yīng)用場(chǎng)景有：
微納材料表面三維形貌、粗糙度的檢測(cè)——
包括：晶圓（硅片）；光柵；陶瓷；合金；薄膜；晶體；超晶玻璃；高分子材料；復(fù)合材料；第三代半導(dǎo)體砷化鎵、氮化鎵、鈮酸鋰化合物襯底等。
實(shí)測(cè)圖例1：
實(shí)測(cè)圖例2：
