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產(chǎn)品介紹：
該系列3 D光學輪廓顯微鏡由精密工作臺、照明系統(tǒng)、光學干涉成像系統(tǒng)、相移運動、圖像采集系統(tǒng)和圖像數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)組成。
探測器放置在防振浮選平臺上。裝載平臺用于放置待測零件，同時通過傾斜和二維XY平移調(diào)節(jié)將被測表面準確地定位在目標區(qū)域內(nèi)。
檢測使用MI RAU干涉物鏡以獲得表面干涉圖像；壓電陶瓷（ PZT ）實現(xiàn)微位移控制。
技術(shù)參數(shù)：
| 測量模式： | PSI + VSI WLSI |
| CCD相機： | 1280×960 |
| Z高度分辨率： | 0.1 nm |
| RMS重復性： | 0.01 nm（1σ） |
| 臺階高度重復性： | 0.10% |
| Z測量范圍： | 100 um（400 um可選） |
| 照明： | 長壽命LED |
| 物鏡： | 2.5 x、5x、10 x、20x、50x |
| XY工作臺： | 160 mm（手動/電動可選）+傾斜度調(diào)節(jié)（手動） |
| 系統(tǒng)軟件/硬件： | Window 7 64bit，Nanosight 3D軟件，Intel I7 |
