當(dāng)前所在的位置：首頁(yè) · 產(chǎn)品中心 · 微納檢查 · 光學(xué)顯微鏡標(biāo)準(zhǔn)機(jī)系列
產(chǎn)品介紹：
該設(shè)備主要用于半導(dǎo)體硅晶片檢測(cè)、LCD液晶屏檢測(cè)、LCD液晶屏玻璃側(cè)邊檢測(cè)、實(shí)驗(yàn)室材料分析及其他精密工程檢測(cè)領(lǐng)域，可對(duì)樣品進(jìn)行明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光以及微分干涉觀察。光源可選鹵素?zé)?、光纖照明，可以配電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)、成像系統(tǒng)，可以對(duì)應(yīng)多種需求的系統(tǒng)顯微鏡。
采用Nikon或者Olympus高解析度光學(xué)系統(tǒng)。
強(qiáng)大的點(diǎn)、線(xiàn)、弧量測(cè)功能。
清晰逼真的觀測(cè)效果。
龍門(mén)式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。
花崗巖基座平臺(tái)。
可依據(jù)客戶(hù)要求設(shè)計(jì)。
技術(shù)參數(shù)：
| 工作臺(tái)尺寸（mm） | 800*900 |
| 玻璃臺(tái)尺寸（mm） | 200 |
| 運(yùn)動(dòng)行程（mm） | X：600Y：700（電動(dòng)） |
| 調(diào)焦行程（mm） | Z軸100mm（電動(dòng)） |
| 主顯微鏡系統(tǒng) （Nikon or Olympus） | 三目觀察筒 目鏡：10倍 物鏡：5X（BD）、10X（BD）、20X（BD）、50X（BD）、100X（BD） 觀察模式：反射，透射，偏光，明場(chǎng)，暗場(chǎng)，DIC 5孔電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換鏡 |
| 側(cè)顯系統(tǒng) | 單筒鏡頭：美國(guó)NAVITAR無(wú)窮遠(yuǎn)同軸光鏡頭；變倍范圍：0.7X-4.5X 金相物鏡：三豐APO長(zhǎng)工作距離金相物鏡（選配）；倍率：10X；工作距離：33.5mm（加裝金相物鏡后）；景深：3.5um；Min Focus Step:0.3um；激光安全防撞 |
| 示值誤差（視場(chǎng)內(nèi)）mm | 視場(chǎng)外精度XY小于等于（3+L/200）um，Z小于等于（5+L/200）um |
| 照明系統(tǒng) | 鹵素?zé)舯砻婀饧拜喞?/td> |
| 操作臺(tái) | 定制型操作臺(tái) |
| 功能 | 啟動(dòng)/急停/搖桿操作/速度調(diào)整/電腦開(kāi)關(guān)/破真空/倍率切換/三軸微調(diào)/電動(dòng)偏光/電動(dòng)DIC/側(cè)顯Z軸 |
| 驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) | 三軸伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng) |
| 工業(yè)相機(jī) | 傳感器類(lèi)型： CMOS，全局快門(mén);傳感器型號(hào)： IMX264;像元尺寸： 3.45 μm × 3.45 μm；靶面尺寸： 2/3”；分辨率： 2448 × 2048;幀率：23.27 fps 動(dòng)態(tài)范圍： 72 dB;信噪比： 40.2 dB；黑白/彩色： 彩色 |
| 玻璃臺(tái)承重 | 20KG |
| 儀器電源 | 220V(AC) 50HZ ,125W |
| Passline（mm） | 950 |
| 測(cè)量軟件 | 主顯/側(cè)顯雙畫(huà)面切換；主顯/側(cè)顯校正數(shù)據(jù)自動(dòng)切換；完整的畫(huà)面實(shí)時(shí)二維量測(cè)；自動(dòng)保存圖片；錄像功能；實(shí)時(shí)坐標(biāo)定位；指定的Folder和Server上保存Image；支持多款控制器；支持多款工業(yè)相機(jī)；圖像掃描拼接 |
