國產(chǎn)化原子力顯微鏡亮相“2023全國第三代半導(dǎo)體大會”
2023年10月28-29日，為期兩天的2023全國第三代半導(dǎo)體大會在深圳成功舉辦。本次盛會匯集了來自全國各地的400多家企業(yè)，共同探討了第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展趨勢和應(yīng)用前景。其中，對于化合物半導(dǎo)體材料和設(shè)備的國產(chǎn)化進(jìn)程的探討尤為深入。
圖1：大會簽名墻
第三代半導(dǎo)體材料（包括碳化硅和氮化鎵等），是戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)的核心，具有極高的市場前景。然而對于這些材料的生產(chǎn)來說，粗糙度檢測是一個關(guān)鍵環(huán)節(jié)。原子力顯微鏡在化合物半導(dǎo)體襯底和外延片的粗糙度檢測方面，是不可缺少的檢測設(shè)備，發(fā)揮著重要作用。
圖2：主會場
才道精密攜國產(chǎn)化原子力顯微鏡亮相本次會議。
原子力顯微鏡是可以實現(xiàn)納米尺度三維成像及測量的顯微工具 ，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓及微納器件、納米材料的表面三維形貌、粗糙度和關(guān)鍵尺寸的測量。具備性能穩(wěn)定和精度高等特性，能夠在不破壞樣品的情況下，高效實現(xiàn)選點掃描檢測，是半導(dǎo)體行業(yè)不可缺少的檢測設(shè)備。這個市場長期被國外的布魯克、帕克等品牌所壟斷。
圖3：第三代半導(dǎo)體材料碳化硅、氮化鎵最新進(jìn)展
江蘇才道精密致力于半導(dǎo)體、泛半導(dǎo)體高精密檢測設(shè)備的研發(fā)，為了改變這一現(xiàn)狀，經(jīng)過3年努力，終于推出了8寸/12寸工業(yè)型原子力顯微鏡，來滿足產(chǎn)業(yè)的需求。這款原子力顯微鏡精度完全可以與進(jìn)口品牌保持一致，它的推出，實現(xiàn)了原子力顯微鏡的國產(chǎn)替代，打破了國外品牌的長期壟斷，為國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供了強(qiáng)有力的支持。
圖3：才道精密亮相會議
國產(chǎn)化替代是大勢所趨，而才道精密的這款設(shè)備，無疑是為這個進(jìn)程注入了新的動力。才道精密也將不斷通過持續(xù)的創(chuàng)新和積累，不斷提升設(shè)備自動化能力，為國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供競爭力供給。
圖4：行業(yè)人士咨詢才道原子力顯微鏡
總的來說，2023全國第三代半導(dǎo)體大會為國內(nèi)的半導(dǎo)體企業(yè)提供了一個交流、學(xué)習(xí)和發(fā)展的平臺，才道精密將同行業(yè)內(nèi)上下游企業(yè)一起，努力奮進(jìn)。
